本设备适用对充气环网柜(以下简称工件)进行真空法检漏。
同步对工件和真空箱抽真空,使工件内外压差不大于0.04Mpa,对被检工件充注氦气,应用真空箱法进行氦质谱气密性检测,通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的氦气回收循环使用,最后向工件内充入规定压力的SF6工作气体。