100000.00
工作节拍 100秒
氦气回收率 ≥95%
可检漏率 1×10⁻⁵Pa·m³/S
箱门开关方式 钟罩式
设备校准 自动校准
电源 380V
13716085322
产品参数
工作节拍
100秒
氦气回收率
≥95%
可检漏率
1×10⁻⁵Pa·m³/S
箱门开关方式
钟罩式
设备校准
自动校准
电源
380V
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产品详情

3.1 本设备适用对加热芯片(以下简称工件)进行干式检漏。主要具有以下功能:

3.1.1 对被检工件充注高压氮气(0-0.3MPa,范围内可调)进行大漏气密性检验;

3.1.2 对被检工件抽真空并充注氦气(0-0.3Mpa,范围内可调);

3.1.3 真空箱法氦质谱检测,自动判断工件漏率合格与不合格;

3.1.4 充氦-空气混合气(氦气 90%,空气 10%);