氦质谱检漏仪为什么会选择氦气作为主要的示漏气体

2021-08-05 14:20
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氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名,但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等,主要的是氦气。而之所以选择氦气作为主要的示漏气体,原因主要有以下几点:

1、氦气的质量轻,易于穿过漏孔,进入系统时流动和扩散快,因此响应快,检漏灵敏度高。

2、氦离子质荷比小,因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大,利于离子分离,可以适当降低对分析器制造精度的要求,使质谱室中氦离子通过的各个缝隙,从而提高氦离子的传输率。

3、氦在空气中及残余气体中的含量少,在材料出气中氦气也很少,因此本底压力小,检漏时本底信号小。

以上这些因素都为提高氦质谱检漏仪器的灵敏度创造了良好条件。另外,氦气作为一种惰性气体,性质不活泼,不与真空器件起化学反应,无毒,也不会污染环境,因此使用起来也十分安全。  

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