氦检漏的原理是什么

2021-07-23 13:50
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大家都知道气分子内部结构稳定,化学性质并不活泼并且密度较小,由于这些特性氦气不会爆炸,也不容易和其他物质发生反应。因为这些性质,所以氦气经常被用来检漏。22.jpg   

其实任何可以感测气体分压之质谱仪,均可以作为真空系统漏气之侦测,通常为分子量较轻的气体,氦气最容易渗透漏孔, 最简单的质谱测漏仪,多将质普分析器固定在特定质量,通常为氦气的质量,以氦气为漏气体在欲侦测处到处喷氦气,观察质普是否改变,来办别是否有漏气,这是氦气检漏的原理。