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氦质谱检漏
氦质谱检漏

  氦质谱检漏步骤按照被检漏的零部件的详细情况选用不一样的步骤。真空器皿或器材经常使用喷吹法、氦室法和累计法。喷吹法是用喷枪对一部分喷氦气,找出漏孔的部位,但效率较低;氦室法可对大器皿检漏,将一部分用氦室罩上充入氦气,能够找出漏孔的大概范围,但漏孔部位不可以确认。


  氦质谱检漏效率较高。针对细微漏孔,可选用累计法,即首先用氦室对一部分充入氦气,再将检漏仪节流阀关掉,累积一些時间,开启节流阀,观测离子流的改变。如此,检漏敏感度可提升1——2个量级。其它步骤也有吸收法、背压法等。针对容积大、放气量大、漏率大的器皿可选用反流检漏法,即将被检器皿接在真空系统的扩散泵和机械泵之间,利用扩散泵的反流作用,制冷管氦检漏使氦气反流到质谱室而开展检漏。


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