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氦气检漏的方式有哪些?

  一般情况下,氦气检漏的方法有两种,一种是常规的检漏,另外一种是逆扩散的检漏。


  逆扩散检漏是将被检件连接在分子泵出口的一头,漏入的氦气由分子泵出口逆着泵的排气方向进入质谱管中而被检测。这类检漏方法是按照分子泵对不同性质的气体具有不同压缩比,即运用不同气体的逆扩散水平而设计的。


  逆扩散原理


  逆扩散检漏过程中,允许被检件的内压强相对比较高,氦气检漏可达300Pa,适用于检漏一些大型的罐体或是存在严重泄露情况的元件,还可以用于吸枪检漏。逆扩散的方法不会使质谱管受到污染,还能有效延长灯丝的使用寿命。

  1、背压法——测总漏率


  电子元件进行气密性测试时较常用背压法。检漏之前用专门充压罐体向被检件压入氦气,随后取下被检件,吹去表面吸附氦后放进氦气中,再将检漏罐连接到氦气的检漏口处,对检漏罐抽成真空,进行检漏。若元件有漏,则利用该漏孔压人的氦气又释放进入检漏罐,再到质谱管。用这类方法测出的漏率也是总漏率。


  2、辅助真空系统


  针对漏气速度、放气速度较快或是体积较大的被检件时,若直接与氦气检漏连在一起,这时候其真空度很有可能抽不上来,使检漏仪没法运行。这类情况须加接辅助真空系统,加强对被检件的抽速。简单的辅助真空系统只需一个真空泵和两个闸阀,繁杂的系统可由前级泵、次级泵、闸阀、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵,前级系较好用气镇式真空泵。


  3、吸枪法


  被检件充进高过大气压的探索气体,氦气检漏的检漏口连接称为吸枪的气体采集器。当测试有漏时,泄漏的氦气被吸枪吸进氦气检漏,而被检测。吸枪在测试表面挪动,同时观察检漏仪漏率标示的改变,如果泄漏增多,吸枪所指位置即漏点所在。因而吸枪法也是能判定漏孔的检漏方法。


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